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TwisTorr 804 FS 渦輪分子泵配備 DN 200 和 250 法蘭,可提供 800 L/s 的抽速,對輕質(zhì)氣體可實現(xiàn)高壓縮比,其采用的安捷倫懸浮軸承技術(shù) (AFS) 能夠確保低振動和低噪音,適用于各種敏感環(huán)境。TwisTorr 804 FS 的高壓縮比、高前級耐壓能力和免維護運行使其成為一種可靠、高性能、低成本的分子泵。
TwisTorr 804 FS 渦輪分子泵是大型 UHV 系統(tǒng)、核研究、離子注入器、表面分析和電子顯微鏡應用的理想選擇。該泵的智能控制器可根據(jù)系統(tǒng)需要自動優(yōu)化泵的性能。
可對輕質(zhì)氣體實現(xiàn)高壓縮比,同時支持高氣體流速,從而能夠通過 DN200 或 250 法蘭在極低的極限壓力下運行,同時可用于高通量應用
無烴運行,可確保真空系統(tǒng)潔凈
遠程控制器可在距離 100 m 處進行操作
低振動和低噪音 (43 dB(A)),打造舒適的工作環(huán)境并且可以在敏感的實驗環(huán)境下運行
體積小巧,可安裝在任何位置,有利于輕松集成
免維護軸承,零運行成本。
真空計讀數(shù)功能,用于監(jiān)測系統(tǒng)壓力
通過 Vacuum Link 應用程序?qū)崿F(xiàn)無線控制,以便隨時隨地進行泵的操作
防輻射和防磁場設(shè)計,無嵌入式電子設(shè)備,可在強磁場和輻射環(huán)境下運行
低電磁輻射,確保不會干擾工藝過程
泵控制軟件使靈活性、速度和簡便性達到很大化,可在泵的操作條件下始終保持最佳氣體流量和壓縮比
H2 壓縮比 |
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He 壓縮比 |
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N2 壓縮比 |
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冷卻方法 |
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前級管道法蘭尺寸 |
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前級耐壓 — N2 |
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啟動時間 |
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噪音水平 |
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工作位置 |
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建議采用的前級泵容量 |
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抽速 — Ar |
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抽速 — H2 |
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抽速 — He |
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抽速 — N2 |
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操作環(huán)境溫度 |
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最高氣體通量 — Ar、水冷 |
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最高氣體通量 — N2、水冷 |
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極限真空 |
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標準和認證 |
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法蘭類型 |
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貯存環(huán)境溫度 |
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重量 |
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額定轉(zhuǎn)速 |
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